วัสดุทาร์เก็ตทองแดงสำหรับการสปัตเตอริง:

ทาร์เก็ตสำหรับสปัตเตอริง คือวัสดุที่ใช้ในกระบวนการสปัตเตอริง ซึ่งเป็นรูปแบบหนึ่งของการเคลือบฟิล์มบางด้วยไอทางกายภาพ (PVD) โดยในกระบวนการนี้ อะตอมหรือโมเลกุลจะถูกดีดออกจากวัสดุทาร์เก็ต แล้วตกลงบนพื้นผิวเป้าหมาย (substrate) เพื่อสร้างเป็นฟิล์มบาง โดยทั่วไปการดีดอะตอมจะเกิดจากการชนของไอออนพลังงานสูง ซึ่งมักใช้ไอออนอาร์กอน

วัสดุทาร์เก็ตทองแดงจึงหมายถึงวัสดุที่ทำจากทองแดง ซึ่งใช้ในการเคลือบฟิล์มทองแดงบางบนพื้นผิวเป้าหมายหลากหลายชนิด

การใช้งาน:

วัสดุทาร์เก็ตทองแดงถูกนำไปใช้ในหลายอุตสาหกรรม เช่น:

• ไมโครอิเล็กทรอนิกส์: ทองแดงกลายเป็นโลหะหลักในการเชื่อมต่อวงจรซิลิคอนประสิทธิภาพสูง เนื่องจากมีคุณสมบัติการนำไฟฟ้ายอดเยี่ยม ฟิล์มทองแดงบางใช้ในการทำเมทัลไลเซชันของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์
• การจัดเก็บข้อมูล: ใช้ในการผลิตฮาร์ดดิสก์
• พลังงานแสงอาทิตย์: ทองแดงสามารถใช้ในเซลล์แสงอาทิตย์บางประเภท
• การเคลือบเพื่อความสวยงามและการใช้งาน: ใช้เคลือบพื้นผิวด้วยทองแดงเพื่อให้ได้คุณสมบัติด้านฟังก์ชันหรือรูปลักษณ์
• ออปโตอิเล็กทรอนิกส์: โดยเฉพาะในกระบวนการผลิตเซ็นเซอร์และอุปกรณ์บางประเภท

คุณสมบัติหลัก:

• การนำไฟฟ้า
• มิติและรูปร่างที่แม่นยำ
• ความเรียบของพื้นผิว
• ความตรงแนว
• ความสม่ำเสมอทั่วชิ้น
• การควบคุมขนาดผลึก